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更新日期：2024-03-22
簡要描述：
日本nanophoton帶晶圓載物臺的拉曼顯微鏡 RAMANdriveRAMANdrive 是一款專用于半導體分析的拉曼顯微鏡，配備 300 毫米晶圓載物臺。載物臺可以準確平穩(wěn)地移動到晶圓上所需的位置，實現(xiàn)高性能拉曼光譜成像分析。
| 類型 | 其他 | 測量范圍 | 1 |
|---|
日本nanophoton帶晶圓載物臺的拉曼顯微鏡 RAMANdrive
RAMANdrive 是一款專用于半導體分析的拉曼顯微鏡，配備 300 毫米晶圓載物臺。
載物臺可以準確平穩(wěn)地移動到晶圓上所需的位置，實現(xiàn)高性能拉曼光譜成像分析。
配備專用載物臺，最大可放置300mm的大直徑晶圓。真空吸附機構使晶圓保持水平并將其牢固地固定在平臺上。由于載物臺具有較寬的可移動范圍，因此可以在視野中心從晶圓邊緣到邊緣的任何位置進行捕捉和測量。晶圓以外的高樣品可以放置在平臺中央的凹槽中。
高性能拉曼光譜成像
為了顯著提高拉曼圖像的采集速度，我們開發(fā)了一種的線照明技術，將激光束拉伸成一條線并照射到樣品上。從樣品上的線形照明區(qū)域同時檢測到 400 個拉曼光譜。此外，通過安裝高精度掃描鏡，實現(xiàn)了激光束掃描成像。規(guī)定分析區(qū)域后，無需移動載物臺，只需幾分鐘即可獲得超過 100,000 像素的高清拉曼圖像。
RAMANdrive 配備高質(zhì)量的共焦光學器件，在所有 XYZ 方向上擁有最高的空間分辨率。這種高分辨率還有助于顯著提高 100 nm 或更小的微粒的檢測靈敏度。出色的光譜分辨率和峰值定位精度能夠對應力和多型進行高度準確的分析。
空間分辨率顯著提高了對小于光斑尺寸的顆粒的檢測靈敏度。選配的高品質(zhì)暗場觀察功能可清晰確認100nm以下微小異物的位置，高精度激光束掃描將激光束準確照射到異物中心。可以獲得具有高信噪比的拉曼光譜，從而可以高精度地識別污染物。
RAMANdrive 配備高性能共焦光學器件，可對 SiC、GaN 和金剛石等透明樣品進行深度成像。通過斷層拉曼成像獲得的 SiC 晶片中應力分布的數(shù)據(jù)表明，研磨劃痕引起的應力通過拋光得到了降低。
日本nanophoton帶晶圓載物臺的拉曼顯微鏡 RAMANdrive
| 空間分辨率（X/Y/Z） | 350nm/500nm/1000nm (@532nm, 100x 0.90NA) |
|---|---|
| 光譜測量范圍 | 100 cm -1 ~ (選項：50 cm -1 ~) |
| 光譜分辨率 (FWHM) | 1.2cm -1 (@785nm, 1200g/mm) |
| 光譜像素分辨率 | 0.4cm -1 /pixel (@785nm, 1200 g/mm) |
| 峰值定位精度 | 0.1cm -1 (@532nm, 2400g/mm) |
| 激光波長 | 325nm、355nm、488nm、532nm、671nm、785nm等 |
|---|---|
| 激光照射方式 | 點光源/線光源 |
| 光譜儀焦距 | 550mm |
| 光柵 | 內(nèi)置 3 張 150、300、600、1200、1800、2400 g/mm |
| 探測器 | 熱電冷卻 CCD 1340 × 400 像素 |
| 尺寸（寬x高x深） | 1276×1350×1320mm（含防震臺） |
|---|---|
| 重量 | 390kg（含防震臺） |
