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更新日期：2024-03-19
簡(jiǎn)要描述：
日本pureron腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器PC-601系列半導(dǎo)體設(shè)備的生產(chǎn)線中、HBr、HCl等鹵素反應(yīng)性、腐蝕性特殊氣體大量被使用。這些腐蝕性氣體會(huì)在使用的氣體供給管道、壓力傳感器、氣體過濾器等不銹鋼內(nèi)表面吸附并 和少量的水分反應(yīng)，形成腐蝕生成物。
| 類型 | 數(shù)字壓力表 |
|---|
日本pureron腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器PC-601系列
半導(dǎo)體設(shè)備的生產(chǎn)線中、HBr、HCl等鹵素反應(yīng)性、腐蝕性特殊氣體大量被使用。這些腐蝕性氣體會(huì)在使用的氣體供給管道、壓力傳感器、氣體過濾器等不銹鋼內(nèi)表面吸附并 和少量的水分反應(yīng)，形成腐蝕生成物。這種物質(zhì)是產(chǎn)生微粒子造成半導(dǎo)體工藝污染的原因。因此，我們采用了遠(yuǎn)比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金® 開發(fā)出這種對(duì)應(yīng)腐蝕性氣體的壓力傳感器PC-601系列。
日本pureron腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器PC-601系列
規(guī)格
| 型號(hào) | 表壓※ | 壓 | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| PSI | 25G | 50G | 100G | 200G | 500G | 3000G | 15A | 25A | 50A | |
| 壓力范圍 | KPa | 0～172.4 | 0～344.7 | 0～689.5 | 0～1,378.9 | 0～3,447.3 | 0～20,684 | 0～103.4 | 0～172.4 | 0～344.7 |
| kgf/cm2 | 0～1.76 | 0～3.52 | 0～7.03 | 0～14.06 | 0～35.16 | 0～210.9 | - | - | - | |
| torr | - | - | - | - | - | - | 0～776 | 0～1,293 | 0～2,586 | |
| 精度（％ 全量程) | ±0.5％ | ±0.25％ | ±0.5％ | |||||||
※所有的表壓類型可以連成。
| 過載壓力 | 全量程×2 |
|---|---|
| 激勵(lì)電源電壓 | DC 5V(MAX 6V) |
| 保存溫度范圍 | -20℃～93℃（未通電） |
| 溫度補(bǔ)償范圍 | -1℃～71℃ |
| 溫度漂移 | ±0.05% FS/℃ |
| 信號(hào)輸出 | 100mV(20mV/V) ※25G ?50Gは、50mV(10mV/V) |
| 跨度 | 100mV±15mV ※25G ?50Gは、50mV ± 15mV |
| 偏移量 | 0mV ± 10mV |
| 外部泄漏量 | 2×10-11Pa?m3/sec |
| 氣體（液體）接觸部分 | 哈司特鎳合金® |
| 連接零件 | 1/4" Gasket seal、 Compression seal、其它 |
